20世紀(jì)80年代后期，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在生物、醫(yī)療科學(xué)、遺傳工程、精細(xì)加工、集成電路制造、光釬對(duì)接、CCD對(duì)接、航空航天等領(lǐng)域，迫切需要人們開(kāi)發(fā)一些工作對(duì)象是微小物體或其位姿微小改變的微細(xì)作業(yè)技術(shù)，這些微細(xì)作業(yè)直接由人來(lái)操作是非常困難的，所以必然要依靠微動(dòng)機(jī)器人來(lái)完成，這些需求為微型機(jī)器人的出現(xiàn)提供了必要調(diào)教；隨著晶體壓電效應(yīng)、微/納米技術(shù)及相關(guān)技術(shù)的發(fā)展，遺跡超磁致伸縮材料的應(yīng)用，新型微驅(qū)動(dòng)研發(fā)的成功也促進(jìn)了微機(jī)器人學(xué)的發(fā)展，這些也成為了微型機(jī)器人發(fā)展的重要基礎(chǔ)。
微型機(jī)器人結(jié)構(gòu)和元器件都微小、精密，可以在人類及其他機(jī)器人所無(wú)法進(jìn)入的場(chǎng)合下進(jìn)行定位以及各類微細(xì)操作，微型機(jī)器人的研究是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要分支，其應(yīng)用前景十分廣泛，已收到國(guó)內(nèi)外學(xué)者的高度重視。如：微型管道機(jī)器人應(yīng)用在狹小管道或者縫隙中；納米級(jí)別的微型醫(yī)用機(jī)器人可以在人體內(nèi)甚至血管等里面進(jìn)行診療；具有隱蔽性的微型機(jī)器人可以很好的用來(lái)進(jìn)行偵查工作，大大降低了風(fēng)險(xiǎn)等。